精密仪器系渊源于1932年成立的清华大学工学院机械工程学系，至今已有80年历史，是我国历史最悠久的工程学科院系，主要从事先进制造领域的人才培养与科学研究，包括机械工程、光学工程、仪器科学与技术等，在国内享有盛誉。目前全系在职教职工85人，其中院士1人，国家杰出青年基金获得者2人，教育部教学名师奖获得者1人，在职教授24人，副教授34人，教师中具有博士学位者64人，在校本科生597人，硕士生172人，博士生193人，博士后研究人员37人。

精密仪器系拥有全国最早设立的光学工程和仪器科学与技术两个一级学科，在全国一级学科评估中均名列前茅。近年来，随着微电子、计算机、自动控制、激光等新技术及现代机械设计、现代制造工程、现代控制及信息理论的发展，精密仪器系不断突破传统领域，更新教学内容和学科方向，使之适应世界科学技术的发展和国民经济建设的需要，逐步形成了光、机、电、测、控相结合多学科交叉的特点。目前，全系拥有光学工程国家重点学科。下设光电工程研究所、仪器科学与技术研究所、导航技术工程中心、激光与光子技术研究室等4个研究所（室）。建有“精密测试技术与仪器”国家重点实验室，光盘国家工程研究中心，“智能微系统”和“高精度导航技术”两个教育部国防科技重点实验室，以及微米纳米技术研究中心和8个企业联合实验室。

精密仪器系始终把人才培养作为首要任务，秉承清华大学“培养具有国家社会服务之健全品格的人才”的教育理念，掌握时代潮流、追求学术卓越，致力培养“研究型、管理型、创新型、国际型”的先进制造业卓越领军人才，以及拥有基础理论扎实、知识层面宽广、人文底蕴浓厚的高素质高层次创造性人才。精密仪器系名师荟萃，设施一流，建有国家工科机械基础教学示范中心，承担全校机械类主要平台课与基础课的教学，其中的机械原理、制造工程基础、机械制图、测试与检测技术基础、控制工程基础等5门课程均为国家级精品课，还有7门北京市级精品课和10门清华大学精品课，为拔尖创新人才和卓越工程师培养创造条件。从五十年代至今，精密仪器系已培养本科生7000余名，自1978年以来培养硕士研究生1800余名、博士研究生800余名，其中包括教育部部长、副部长、绕月工程总指挥、两院院士、共和国将军、全国青联主席、全国十大杰出青年、大学校长等一大批德才兼备的杰出校友。

精密仪器系的科学研究立足于世界科技发展前沿，服务于国家建设需求，每年承担国家重大专项、973 基础研究项目、863高技术项目、国家科技支撑项目、国家自然科学基金项目及其它科技开发项目等百余项。1958年研制了我国第一台数控机床，60年代研制了我国第一台劈锥铣，70年代研制开发了分步重复自动照相机、图形发生器、光刻机、电子束曝光机工作台等半导体设备；90年代CIMS实验工程获得美国制造工程师学会（SME）颁发的“大学领先奖”；近年来研制成功国内第一颗微小卫星与纳型卫星。

秉承“精益求精，止于至善”的精神传承，精密仪器系将以创新开放、积极进取的面貌，为创新人才培养、科技创新、国家的经济繁荣和国防安全做出更大贡献，为清华大学建设成为世界一流大学而努力奋斗！